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제목

진공 챔버내 heater - chuck

작성자
김달헌
작성일
2023.08.25
첨부파일0
추천수
0
조회수
549
내용
진공챔버 100도씨 온도 유지를 위하여, heat exchanger를 사용하여 coolant (galden용액)를 순환하고있습니다.
전기 heater로 대체하고자 합니다.

전원공급방식 및 설치관련 자료를 부탁합니다.

LTK
경기도 화성시 백토관리길 79-4 (향남읍)
www.asher.co.kr
ltk@asher.co.kr

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    1 년전

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