APPLIED PARTS
진공 증착기의 증발원, 고온로의 용해 도가니, 단결정 성장 장비의 용기 등으로 사용되는 부품입니다. 담을 물질과 온도 조건에 맞춰 소재와 형상을 설계해 제작합니다.
용량 · 두께 · 단자 형상은 도면과 사용 조건에 따라 정해집니다. 치수를 알려 주시면 확인 후 회신드립니다.
KEY FEATURES
소재가 수율을 가른다
담는 금속보다 먼저 녹거나 반응하면 안 됩니다.
CROSS SECTION
담을 물질의 양과 장착 규격에 맞춰 개구 폭 · 깊이 · 두께를 정합니다.
높은 융점 · 낮은 증기압
High Melting Point
텅스텐 3,422 °C, 몰리브덴 2,623 °C. 담는 금속보다 훨씬 높은 온도에서 형상을 유지하고, 고진공에서도 증기압이 낮아 증착막을 오염시키지 않습니다.
용융 금속과의 낮은 반응성
Low Reactivity
알루미늄 · 은 · 구리 같은 증착 대상 금속과 잘 반응하지 않습니다. 용기가 녹아들거나 불순물을 남기지 않아 반복 사용에도 형상 변화가 적습니다.
도면 기준 형상 · 용량 설계
Made to Drawing
담을 물질과 온도 조건에 맞춰 용량 · 두께 · 단면을 다시 계산합니다. 성형 후 정밀 가공으로 치수를 맞춥니다.
소재별 융점 비교
융점 °C. 값이 클수록 더 높은 온도까지 형상을 유지합니다.
왜 수율과 연결되나
용기가 용탕과 반응하면 결정 전체가 불량이 됩니다. 단결정 성장과 정밀 증착에서는 소재 안정성이 곧 수율입니다.
반복 열 사이클
승온과 냉각이 반복돼도 변형이 적어야 교체 주기가 길어집니다. 성형 이력과 두께 분포를 관리해 형상을 유지합니다.
DESIGN PRECISION
담을 물질에 맞춰 설계합니다
보트와 도가니는 형상보다 용량과 벽 두께가 성능을 가릅니다.
같은 도가니라도 벽 두께와 내경을 바꾸면 용량과 승온 속도가 달라집니다. 형상 이름이 같다고 같은 제품이 아닙니다.
두께 설계
도가니와 보트의 벽 두께는 그대로 저항과 승온 속도가 됩니다. 공급 전력에 맞춰 두께와 단면을 정합니다.
용량 맞춤
담을 물질의 양과 장착 규격에 맞춰 폭 · 길이 · 깊이를 정합니다.
소재 선정
증발 온도와 반응성을 보고 텅스텐과 몰리브덴 중에서 고릅니다.
담을 물질과 장착 규격만 알려 주시면 가장 알맞은 용량과 벽 두께를 제안해 드립니다.
APPLICATIONS
적용 분야
보트와 도가니가 쓰이는 고온 · 진공 공정입니다.
LEAD TIME
제작 · 납기 안내
도면 및 요구 사양에 맞춘 맞춤형 보트 · 도가니 공급 프로세스를 안내해 드립니다.
STEP 01
도면 접수
담을 물질, 용량, 장착 규격, 두께를 보내 주십시오. 도면이 없으면 사용 조건만으로도 시작합니다.
1 일 이내 회신STEP 02
사양 검토
형상과 용량, 탭 규격을 검토하고 소재와 두께를 제안합니다. 필요하면 형상 변경을 함께 제안합니다.
2 – 4 일STEP 03
성형 · 가공
요구 형상으로 성형하고 탭과 단차를 도면 치수대로 가공합니다.
공정 상황에 따라 협의STEP 04
검사 · 납품
두께와 용량, 표면 상태를 측정해 성적서와 함께 출고됩니다. 동일 도면 재발주는 검토 단계를 건너뜁니다.
공정 상황에 따라 협의최소 수량
소량부터 가능
형상과 치수에 따라 달라집니다. 맞춤 제작은 소량도 가능합니다.
표준 납기
약 2 ~ 3주
도면 승인일 기준. 형상이 복잡하거나 특수 가공이 포함되면 공정 단계가 늘어납니다.
함께 드리는 것
시험 성적서
두께 · 용량 측정값을 담은 성적서를 납품 시 함께 보냅니다.
HANDLING
취급 시 주의
고융점 금속 공통 사항입니다. 취급 방법에 따라 수명이 크게 달라집니다.
01
개봉 후에는 맨손으로 만지지 마십시오. 지문의 유분이 고온에서 탄화되어 오염원이 됩니다.
02
충격이나 굽힘에 약합니다. 텅스텐은 상온에서 취성이 있어 낙하 시 균열이 생길 수 있습니다.
03
대기 중에서 500°C 이상 가열하지 마십시오. 산화가 급격히 진행됩니다. 반드시 진공 또는 불활성 분위기에서 사용하십시오.
04
급격한 승온·냉각을 피하고, 초기 사용 시 저전류로 예비 가열(에이징)을 권장합니다.
05
보관은 건조한 실내에서, 방습 포장 상태를 유지하십시오.
설치 · 운전 조건이 특수한 경우 담당자가 사전 검토를 도와드립니다. 도면이나 공정 조건을 보내주시면 적합한 소재부터 함께 검토합니다.
