진공 증착과 고온 용해에 사용되는 텅스텐·몰리브덴 보트 및 도가니입니다. 용융 금속과 반응하지 않는 안정성이 요구되는 위치에 사용되며, 형상과 용량을 요구 사양에 맞춰 제작합니다.
APPLIED PARTS
진공 증착기의 증발원, 고온로의 용해 도가니, 단결정 성장 장비의 용기 등으로 사용되는 부품입니다. 담을 물질과 온도 조건에 맞춰 소재와 형상을 설계해 제작합니다.
SPECIFICATIONS
공통 표준 사양
형상과 용량에 관계없이 공통으로 적용되는 값입니다.
| 소재 | 텅스텐(W) · 몰리브덴(Mo) — 순도 99.95 % 이상 |
|---|---|
| 형상 | 보트 · 도가니 · 박스 — 도면 기준 성형 후 정밀 가공 |
| 제작 방식 | 성형 + 가공 — 용량 · 두께를 요구 사양에 맞춰 설계 |
| 사용 환경 | 고진공 · 불활성 분위기 — 반복 승온 · 냉각 대응 |
|---|---|
| 표면 | 무광 · 연마 선택 — 증착막 오염을 줄이는 마감 |
용량 · 두께 · 단자 형상은 도면과 사용 조건에 따라 정해집니다. 치수를 알려 주시면 확인 후 회신드립니다.
KEY FEATURES
소재가 수율을 가른다
담는 금속보다 먼저 녹거나 반응하면 안 됩니다.
CROSS SECTION
담을 물질의 양과 장착 규격에 맞춰 개구 폭 · 깊이 · 두께를 정합니다.
높은 융점 · 낮은 증기압
High Melting Point
텅스텐 3,422 °C, 몰리브덴 2,623 °C. 담는 금속보다 훨씬 높은 온도에서 형상을 유지하고, 고진공에서도 증기압이 낮아 증착막을 오염시키지 않습니다.
용융 금속과의 낮은 반응성
Low Reactivity
알루미늄 · 은 · 구리 같은 증착 대상 금속과 잘 반응하지 않습니다. 용기가 녹아들거나 불순물을 남기지 않아 반복 사용에도 형상 변화가 적습니다.
도면 기준 형상 · 용량 설계
Made to Drawing
담을 물질과 온도 조건에 맞춰 용량 · 두께 · 단면을 다시 계산합니다. 성형 후 정밀 가공으로 치수를 맞춥니다.
소재별 융점 비교
융점 °C. 값이 클수록 더 높은 온도까지 형상을 유지합니다.
왜 수율과 연결되나
용기가 용탕과 반응하면 결정 전체가 불량이 됩니다. 단결정 성장과 정밀 증착에서는 소재 안정성이 곧 수율입니다.
반복 열 사이클
승온과 냉각이 반복돼도 변형이 적어야 교체 주기가 길어집니다. 성형 이력과 두께 분포를 관리해 형상을 유지합니다.
DESIGN PRECISION
담을 물질에 맞춰 설계합니다
보트는 형상보다 용량과 두께가 제품을 가릅니다.
같은 도가니라도 벽 두께와 내경을 바꾸면 용량과 승온 속도가 달라집니다. 형상 이름이 같다고 같은 제품이 아닙니다.
두께 설계
저항 가열 보트는 두께가 곧 저항입니다. 공급 전력에 맞춰 두께와 단면을 정합니다.
용량 맞춤
담을 물질의 양과 장착 규격에 맞춰 폭 · 길이 · 깊이를 정합니다.
소재 선정
증발 온도와 반응성을 보고 텅스텐과 몰리브덴 중에서 고릅니다.
규격을 고르는 게 아니라, 함께 개발합니다 . (담을 물질과 장착 규격만 알려 주시면 용량 설계부터 같이 잡아 드립니다.)
APPLICATIONS
적용 분야
보트와 도가니가 쓰이는 고온 · 진공 공정입니다.
LEAD TIME
제작 · 납기 안내
도면으로 만드는 제품입니다. 진행 순서를 미리 알려 드립니다.
STEP 01
도면 접수
담을 물질, 용량, 장착 규격, 두께를 보내 주십시오. 도면이 없으면 사용 조건만으로도 시작합니다.
1 일 이내 회신STEP 02
설계 검토
발열체 패턴과 존 구성을 제안하고 온도 분포를 검토합니다. 필요하면 형상 변경을 함께 제안합니다.
3 – 5 일STEP 03
시제품 제작
매립 소결 후 표면 온도 편차와 절연 저항을 측정해 성적서와 함께 보냅니다.
확인 필요STEP 04
양산 납품
승인된 도면 기준으로 양산합니다. 동일 도면 재발주는 검토 단계를 건너뜁니다.
확인 필요최소 수량
값 없음
형상과 치수에 따라 달라집니다. 시제품은 1 매부터 가능합니다.
표준 납기
값 없음
도면 승인일 기준. 패턴 변경이 있으면 설계 검토 기간이 더해집니다.
함께 드리는 것
시험 성적서
표면 온도 편차 · 절연 저항 측정값을 납품 시 함께 보냅니다.
HANDLING
취급 시 주의
고융점 금속 공통 사항입니다. 취급 방법에 따라 수명이 크게 달라집니다.
01
개봉 후에는 맨손으로 만지지 마십시오. 지문의 유분이 고온에서 탄화되어 오염원이 됩니다.
02
충격이나 굽힘에 약합니다. 텅스텐은 상온에서 취성이 있어 낙하 시 균열이 생길 수 있습니다.
03
대기 중에서 500°C 이상 가열하지 마십시오. 산화가 급격히 진행됩니다. 반드시 진공 또는 불활성 분위기에서 사용하십시오.
04
급격한 승온·냉각을 피하고, 초기 사용 시 저전류로 예비 가열(에이징)을 권장합니다.
05
보관은 건조한 실내에서, 방습 포장 상태를 유지하십시오.
설치 · 운전 조건이 특수한 경우 담당자가 사전 검토를 도와드립니다. 도면이나 공정 조건을 보내주시면 적합한 소재부터 함께 검토합니다.
