이온 주입 장비의 소스 챔버, 아크 챔버, 슬릿 등에 사용되는 텅스텐 · 몰리브덴 부품입니다.
APPLIED PARTS
이온 소스 주변의 소모성 부품입니다. 형상과 치수를 장비 도면에 맞춰 가공합니다.
SPECIFICATIONS
공통 표준 사양
형상과 위치에 관계없이 공통으로 적용되는 값입니다.
| 소재 | 텅스텐(W) · 몰리브덴(Mo) — 순도 99.95 % 이상 |
|---|---|
| 제작 방식 | 정밀 가공 — 방전 · 연삭으로 치수를 맞춥니다 |
| 형상 | 챔버 · 슬릿 · 전극 — 장비 도면 기준 |
| 표면 | 연마 선택 — 파티클을 줄이는 마감 |
|---|---|
| 사용 환경 | 플라즈마 · 고진공 — 아크와 이온 충돌 조건 |
형상 · 치수 · 표면은 장비 사양에 따라 정해집니다. 도면이나 기존 부품을 알려 주시면 확인 후 회신드립니다.
KEY FEATURES
소모 속도가 가동률을 정한다
부품이 빨리 닳으면 장비를 자주 세웁니다.
CROSS SECTION
아크와 이온 충돌을 받는 자리의 소재와 표면이 교체 주기를 정합니다.
내아크 · 내스퍼터
Arc & Sputter Resistance
아크와 이온 충돌에 견뎌 소모를 늦추고 교체 주기를 늘립니다.
저오염
Low Contamination
고순도 소재로 웨이퍼에 섞이는 금속 오염을 줄입니다.
치수 정밀도
Dimensional Accuracy
슬릿 폭과 전극 간격이 빔 형상과 전류를 좌우합니다.
소재별 융점 비교
융점 °C. 값이 클수록 아크 열에 오래 견딥니다.
왜 순도가 중요한가
소스 부품이 스퍼터되면 그 금속이 웨이퍼로 들어갑니다. 순도가 곧 오염 수준입니다.
교체 주기
소모품이므로 형상을 그대로 재현하는 재발주가 많습니다. 도면을 보관해 둡니다.
DESIGN PRECISION
장비에 맞춰 치수를 정합니다
소스 부품은 치수와 표면이 제품을 가릅니다.
같은 부품이라도 슬릿 폭과 표면을 바꾸면 빔 전류와 수명이 달라집니다.
형상 가공
슬릿 폭과 전극 간격을 도면대로 맞춥니다.
표면 상태
파티클을 줄이려면 등급을 올립니다.
소재 선정
아크 부하가 크면 텅스텐, 가공성이 필요하면 몰리브덴을 씁니다.
규격을 고르는 게 아니라, 함께 개발합니다 . (장비 모델과 교체 주기만 알려 주시면 소재부터 같이 잡아 드립니다.)
APPLICATIONS
적용 분야
이온 주입 부품이 쓰이는 갈래입니다. 위치마다 형상이 다릅니다.
LEAD TIME
제작 · 납기 안내
도면으로 만드는 제품입니다. 진행 순서를 미리 알려 드립니다.
STEP 01
도면 접수
장비 모델, 형상, 치수와 표면 등급을 보내 주십시오.
1 일 이내 회신STEP 02
사양 검토
공차와 표면 등급, 소재를 검토합니다.
2 – 4 일STEP 03
가공
방전 · 연삭으로 도면 치수를 맞춥니다.
확인 필요STEP 04
검사 · 납품
치수를 측정해 성적서와 함께 보냅니다.
확인 필요최소 수량
값 없음
형상에 따라 달라집니다. 시제품은 소량도 가능합니다.
표준 납기
값 없음
도면 승인일 기준. 재발주는 검토 단계를 건너뜁니다.
함께 드리는 것
시험 성적서
치수 측정값을 납품 시 함께 보냅니다.
HANDLING
취급 시 주의
고융점 금속 공통 사항입니다. 취급 방법에 따라 수명이 크게 달라집니다.
01
개봉 후에는 맨손으로 만지지 마십시오. 지문의 유분이 고온에서 탄화되어 오염원이 됩니다.
02
충격이나 굽힘에 약합니다. 텅스텐은 상온에서 취성이 있어 낙하 시 균열이 생길 수 있습니다.
03
대기 중에서 500°C 이상 가열하지 마십시오. 산화가 급격히 진행됩니다. 반드시 진공 또는 불활성 분위기에서 사용하십시오.
04
급격한 승온·냉각을 피하고, 초기 사용 시 저전류로 예비 가열(에이징)을 권장합니다.
05
보관은 건조한 실내에서, 방습 포장 상태를 유지하십시오.
설치 · 운전 조건이 특수한 경우 담당자가 사전 검토를 도와드립니다. 도면이나 공정 조건을 보내주시면 적합한 소재부터 함께 검토합니다.
