MOCVD 장비의 서셉터 가열용 몰리브덴 · 텅스텐 히터입니다. LED, 전력 반도체 에피 성장 공정에 사용됩니다.
APPLIED PARTS
MOCVD 챔버의 서셉터를 가열하는 히터입니다. 발열 패턴과 존 구성을 요구 사양에 맞춰 설계합니다.
SPECIFICATIONS
공통 표준 사양
패턴과 존 구성에 관계없이 공통으로 적용되는 값입니다.
| 소재 | 몰리브덴(Mo) · 텅스텐(W) — 순도 99.95 % 이상 |
|---|---|
| 제작 방식 | 판재 절단 · 성형 — 레이저 · 와이어 절단 후 응력 제거 |
| 패턴 | 도면 기준 — 발열 분포에 맞춰 폭과 간격을 정합니다 |
| 존 구성 | 단일 · 다중 존 — 구역별 제어가 필요하면 분할 |
|---|---|
| 사용 환경 | 고진공 · 수소 분위기 — 반복 승온 · 냉각 대응 |
패턴 · 존 · 단자 위치는 챔버 규격에 따라 정해집니다. 도면이나 사용 조건을 알려 주시면 확인 후 회신드립니다.
KEY FEATURES
패턴이 온도 분포를 정한다
발열 폭과 간격이 웨이퍼 전면의 편차를 가릅니다.
CROSS SECTION
발열체 폭과 간격을 구역별로 바꿔 가장자리 온도 저하를 잡습니다.
고온 안정성
High Temperature Stability
몰리브덴 2,623 °C. 에피 성장 온도에서도 변형 없이 형상을 유지합니다.
온도 균일도
Temperature Uniformity
발열체 폭과 간격을 조절해 서셉터 전면의 온도 편차를 줄입니다.
열 사이클 내구
Thermal Cycling
승온과 냉각이 반복돼도 균열이 생기지 않도록 응력을 풀고 성형합니다.
소재별 융점 비교
융점 °C. 값이 클수록 더 높은 공정 온도를 견딥니다.
왜 균일도가 수율인가
가장자리 온도가 떨어지면 에피층 두께와 조성이 달라져 웨이퍼 외곽부터 불량이 납니다.
다중 존
구역별로 전력을 나눠 주면 챔버 조건이 달라져도 편차를 다시 잡을 수 있습니다.
DESIGN PRECISION
챔버에 맞춰 패턴을 설계합니다
히터는 패턴과 존 구성이 제품을 가릅니다.
같은 히터라도 발열 폭과 간격을 바꾸면 온도 분포가 달라집니다.
패턴 설계
서셉터 크기와 목표 온도에 맞춰 폭과 간격을 정합니다.
존 구성
구역 제어가 필요하면 존을 나눕니다.
소재 선정
최고 온도가 필요하면 텅스텐, 가공성이 필요하면 몰리브덴을 씁니다.
규격을 고르는 게 아니라, 함께 개발합니다 . (챔버 규격과 목표 온도만 알려 주시면 패턴 설계부터 같이 잡아 드립니다.)
APPLICATIONS
적용 분야
MOCVD 히터가 쓰이는 갈래입니다. 공정마다 패턴과 존이 다릅니다.
LEAD TIME
제작 · 납기 안내
도면으로 만드는 제품입니다. 진행 순서를 미리 알려 드립니다.
STEP 01
도면 접수
챔버 규격, 서셉터 크기, 목표 온도, 단자 위치를 보내 주십시오.
1 일 이내 회신STEP 02
설계 검토
발열 패턴과 존 구성을 제안하고 온도 분포를 검토합니다.
3 – 5 일STEP 03
가공
판재를 절단해 패턴을 내고 응력을 푼 뒤 성형합니다.
확인 필요STEP 04
검사 · 납품
치수와 저항을 측정해 성적서와 함께 보냅니다.
확인 필요최소 수량
값 없음
형상과 치수에 따라 달라집니다. 시제품은 1 매부터 가능합니다.
표준 납기
값 없음
도면 승인일 기준. 패턴 변경이 있으면 검토 기간이 더해집니다.
함께 드리는 것
시험 성적서
치수 · 저항 측정값을 납품 시 함께 보냅니다.
HANDLING
취급 시 주의
고융점 금속 공통 사항입니다. 취급 방법에 따라 수명이 크게 달라집니다.
01
개봉 후에는 맨손으로 만지지 마십시오. 지문의 유분이 고온에서 탄화되어 오염원이 됩니다.
02
충격이나 굽힘에 약합니다. 텅스텐은 상온에서 취성이 있어 낙하 시 균열이 생길 수 있습니다.
03
대기 중에서 500°C 이상 가열하지 마십시오. 산화가 급격히 진행됩니다. 반드시 진공 또는 불활성 분위기에서 사용하십시오.
04
급격한 승온·냉각을 피하고, 초기 사용 시 저전류로 예비 가열(에이징)을 권장합니다.
05
보관은 건조한 실내에서, 방습 포장 상태를 유지하십시오.
설치 · 운전 조건이 특수한 경우 담당자가 사전 검토를 도와드립니다. 도면이나 공정 조건을 보내주시면 적합한 소재부터 함께 검토합니다.
