MATERIAL
왜 몰리브덴인가
AlN(질화알루미늄) 세라믹 히터나 고온 장비 부품의 내부에 몰리브덴(Molybdenum, Mo) 소재를 발열체로 채택하여 가공하는 이유는 고온 환경에서 요구되는 물리적·전기적 특성이 매우 뛰어나기 때문입니다.
MELTING POINT약 2,623 °C몰리브덴 녹는점
THERMAL MATCHAlN 정합열팽창률 차이가 작음
ENVIRONMENT진공 · 불활성고순도 가공 대응
초고융점 · 고온 안정성
반도체 열처리 공정이나 진공 챔버 같은 극단적인 고온에서도 변형되거나 녹지 않고 발열 성능을 유지합니다.
AlN 과 맞는 낮은 열팽창률
급열·급냉 환경에서 세라믹 기판과 발열선이 함께 팽창·수축하므로 박리와 단선을 막는 데 유리합니다.
고온 전기 전도성 · 내구성
고온에서도 저항 값이 일정합니다. 전류가 안정적으로 흐르므로 발열면 전반에 균일한 온도를 구현할 수 있습니다.
고순도 · 진공 가스 분위기
고온 대기에서는 산화하므로 보호 코팅을 하거나 진공·불활성 가스 챔버 안에서 씁니다. 불순물을 최소화한 고순도 가공이 가능합니다.
KEY FEATURES
주요 특징
