질화알루미늄(AlN) 세라믹에 몰리브덴 발열체를 매립한 고온 히터입니다. 요구 사양에 맞춰 설계한 동심원 분할 발열체 패턴(1존 평판/코일형_01)을 적용합니다.
PATTERN & TERMINAL
주요 사양 및 특징
1존 평판/코일형_01
왜 몰리브덴인가
AlN(질화알루미늄) 세라믹 히터나 고온 장비 부품의 내부에 몰리브덴(Molybdenum, Mo) 소재를 발열체로 채택하여 가공하는 이유는 고온 환경에서 요구되는 물리적·전기적 특성이 매우 뛰어나기 때문입니다.
초고융점 · 고온 안정성
반도체 열처리 공정이나 진공 챔버 같은 극단적인 고온에서도 변형되거나 녹지 않고 발열 성능을 유지합니다.
AlN 과 맞는 낮은 열팽창률
급열·급냉 환경에서 세라믹 기판과 발열선이 함께 팽창·수축하므로 박리와 단선을 막는 데 유리합니다.
고온 전기 전도성 · 내구성
고온에서도 저항 값이 일정합니다. 전류가 안정적으로 흐르므로 발열면 전반에 균일한 온도를 구현할 수 있습니다.
고순도 · 진공 가스 분위기
고온 대기에서는 산화하므로 보호 코팅을 하거나 진공·불활성 가스 챔버 안에서 씁니다. 불순물을 최소화한 고순도 가공이 가능합니다.
HANDLING
취급 시 주의
고융점 금속 공통 사항입니다. 취급 방법에 따라 수명이 크게 달라집니다.
01
개봉 후에는 맨손으로 만지지 마십시오. 지문의 유분이 고온에서 탄화되어 오염원이 됩니다.
02
충격이나 굽힘에 약합니다. 텅스텐은 상온에서 취성이 있어 낙하 시 균열이 생길 수 있습니다.
03
대기 중에서 500°C 이상 가열하지 마십시오. 산화가 급격히 진행됩니다. 반드시 진공 또는 불활성 분위기에서 사용하십시오.
04
급격한 승온·냉각을 피하고, 초기 사용 시 저전류로 예비 가열(에이징)을 권장합니다.
05
보관은 건조한 실내에서, 방습 포장 상태를 유지하십시오.
설치 · 운전 조건이 특수한 경우 담당자가 사전 검토를 도와드립니다. 도면이나 공정 조건을 보내주시면 적합한 소재부터 함께 검토합니다.
